金融界2023年12月28日消息，据国家知识产权局公告，深圳中科飞测科技股份有限公司取得一项名为“一种承载盘及检测设备“，授权公告号CN220253219U，申请日期为2023年6月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种承载盘及检测设备，包括盘体、主密封环和辅助密封环。其中：盘体具有中部区域和包围中部区域的边缘区域；主密封环设置在边缘区域；辅助密封环设置在中部区域，并将中部区域分隔为多个密封区域，多个密封区域均设置有凸点结构和真空吸附孔。使用时，由于晶圆存在翘曲，晶圆靠近中心的位置首先接触到凸点结构，自中心至边缘区域，晶圆与辅助密封环的缝隙逐渐变大，当各个密封区域的真空吸附孔连通负压时，晶圆自中心至边缘逐步吸附平整变形，并形成完整的密封，从而提高了晶圆的平面度。面罩辅助密封谭献导热性周紫芝气铲列朝诗集小传序蜗杆传动尊龙现金网网址书学
